三坐标测量仪的工作原理

三坐标测量仪的工作原理？

三坐标测量仪是一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传送讯号，三个轴之位移量测系统（如光学尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标（x,y,z）及各项功能量测的仪器。

其工作原理是利用光绕射所制成的量测系统俗称光学尺，其光源经过瞄准透镜而投射到游动刻度尺和主刻度尺，藉其光波产生Moire条纹明暗讯号之原理，由光电管接收其信号，经放大及修正后即可显示出来，其系统及输出信号情形。

三坐标测量仪现在习惯称三坐标测量机，其基本原理是基于被测量工件的几何形状在空间的坐标位置（x,y,z）的理论位置（尺寸）与实际位置（尺寸）的直接比较测量出误差。

其工作原理一般都采用三个直线光栅尺做测量基准，测量头以电触发测头触发发出测量信号，同时锁定三个坐标的光栅数据，测量出工件的实际位置（尺寸）。

控制方面一般都采用伺服电机数控系统控制，花岗岩导轨构件组成。